無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。十萬級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

無塵室空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段；高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端，高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用；阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。

確定集中或分散式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。

送風機可按凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

凈化工程中凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。